激光共焦显微镜

具有出色精度和光学性能的LEXT™OLS5100激光扫描显微镜配备了让系统更加易于使用的智能工具。其能够快速完成亚微米级形貌和表面粗糙度的测量任务，既简化了工作流程又能让您获得可信赖的高质量数据

1.新一代激光共聚焦显微镜，融合了“精准测量”和“操作简便”

2.5项激光技术，3种3D观察模式，真彩全焦点、高分辨率全焦点、高度信息。

3.7种测量模式：高度测量、面积/体积测量、几何测量、表面粗糙度测量、粒子测量、膜厚测量、自动寻边处理

4.采用405nm半导体激光测量，总倍率108X～17,280X。

5.大视野2.5mm，高分辨率0.12um，精准测量，在高度测量上重复性达到0.012um。

6.面粗糙度测量上的世界高分辨率扫描， 16.6M Pixel模式使用100X物镜，0.03um

7.可以获取二维形态图像、三维形态图像、三维轮廓与地形图像，进行亚微米级测量

8.非常简易的操作，操作导航、多用户共用、随意观察角度、报告自动生成等等

9.不同于SEM，测量非破坏性、非接触，无须制样，无须做导电处理，无须真空。

10.标准型 电动100X100mm载物台，样品高度100mm

11.300型，电动300x300mm载物台，12“晶圆等大型样品检查用，样品高高度32mm